6.3.3 Stacking Faults and Other Defects
Abbildung flächenhafter Defekte
(z.B. Stapelfehler)
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Am einfachsten im dynamischen Zweistrahlfall
(Bragg Bedingung exakt erfüllt für einen Reflex) |
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Die Bragg-Bedingung ist dann auch für den gebeugten
Strahl erfüllt, er wird zurückgebeugt. |
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Dadurch periodischer Wechsel der Intensität
zwischen Primärstrahl und gebeugtem Strahl |
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Periode="Extinktionslänge"=wenige
nm! Hieraus folgt eine Intensitätsoszillationen innerhalb der Probe, die
zu Streifenkontrast an keilförmigen Proben führen. |
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Es entstehen Dickenkonturen. |
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Ein Stapelfehler, der schräg in der Probe
liegt, kann durch zwei Keile, die gegeneinander verschoben sind dargestellt
werden. |
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An der Grenzfläche passen die "Dickenkontouren" der beiden
Keile nicht mehr zusammen, es entsteht der typische Stapelfehler -
Streifenkontrast |
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Auch die Natur der Stapelfehler kann aus dem Streifenkontrast
erschlossen werden. |
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Abbildungen:
Beispiele für TEM - Bilder mit verschiedenen Stapelfehler-Defekten |
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Versetzungsring mit
Stapelfehler (aus 5.2.1: Versetzungsringe durch Agglomeration von
Zwischengitteratomen in Silizium) |
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Mehrfach-Stapelfehler
gebildet durch SiO2 - Ausscheidungen im Silizium - Volumen;
Versetzungen angeätzt durch Präparation |
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Weitere Mehrfach-Stapelfehler
durch SiO2 - Präzipitation |
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"kleine" und "Segelboot" - Stapelfehler in
bipolar Tansistoren |
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"Segelboot" - Stapelfehler im
Detail |
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Abscherung eines Segelboot - Stapelfehlers: Beispiel für
gleichzeitiges Auftreten aller Versetzungstypen |
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Stapelfehler - Netzwerk,
entstanden durch Diffusion |
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Aber: Merke:
Mother Nature is a bitch! |
