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In Bezug auf elektrischen Durchbruch gilt
der 1. Hauptsatz der Materialwisseschaft! |
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Material |
Durchbruchfeldstärke [kV/cm] |
Öl | 200 | Glas, Keramiken (Porzellan) | 200...400 |
Glimmer (früher viel verwendet) | 200...700 | Ölpapier | 1800 |
Polymere | 50...900 |
SiO2 in ICs | > 10 000 |
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Es gibt einige feldstärkeabhängige Mechanismen, die sofort oder im
Laufe der Zeit zum Durchbruch führen können: | |
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- Thermischer Durchschlag.
- Lawinendurchbruch.
- Lokale Entladungen.
- Elektrolytischer Durchschlag
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Die maximale Durchbruchfeldstärke (in sehr dünnem (d < 10 nm)
und sehr perfektem (amorphem) SiO2) liegt bei ca. 15 MV/cm. |
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"Normale" Materialien halten deutlich weniger aus. |
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© H. Föll (MaWi für ET&IT - Script)