|
1. Wie groß ist der mittlere Abstand lD
zwischen Defekten mit der Konzentration c? |
|
Die erste Frage ist schnell beantwortet: |
|
|
Wir haben im Mittel einen Defekt in einem Volumen der Größe (lD)3,
d.h. |
| |
c | = | 1 lD3 |
| lD | = |
æ ç è | 1 c |
ö ÷ ø | 1/3 |
|
|
|
|
Eine Konzentration von 1 ppm = 10– 6 entspricht in Si beispielsweise
der Volumenkonzentration » 5 · 1016
cm– 3. Der mittlere Abstand ist also |
|
|
lD(1ppm, Si) | = |
æ ç è |
1 5 · 1016 | ö ÷ ø
| 1/3 |
cm » |
2,5 · 10 6 cm | = 25 nm |
|
|
|
|
Selbst in ultrasauberem Si mit c = 5 · 1013 cm– 3
trifft man als noch in einem mittlerem Abstand von 250 nm auf einen Defekt. |
| | |
|
Zunächst schreiben wir unserem Teilchen die (mittlere) Geschwindigkeit v
und einen Wirkungsquerschnitt s zu. |
|
|
Damit "tastet" unser Teilchen in der Zeit t ein Volumen
V ab, das gegeben ist durch das Volumens des durchfahrenen "Schlauchs" |
| |
|
|
|
In diesem Volumen findet es N Defekte die mit der Konzentration c
(in cm – 3) vorliegen, es gilt also |
|
|
N | = c · V = |
c · v · t · s |
|
|
|
|
Damit wird die Rate R, mit der es einen Stoß durchführen wird, gegeben durch
|
| |
|
|
|
1/R ist dann natürlich die mittlere Zeit, die zwischen zwei Stößen
vergeht (also 2t in unserer Nomenklatur). |
|
Man kann jetzt natürlich auch ausrechnen, wie weit es im Mittel zwischen
zwei Stößen kommt, also die mittlere freie Weglänge l. Wir haben einfach |
| |
l | = v · 2t = |
v R | = | 1
c · s |
|
|
|
|
Das ist schon bemerkenswert, da man eigentlich leicht geneigt ist anzunehmen, daß die
mittlere freie Weglänge zum mittleren Abstand der Defekt proportional sein sollte, also zu c–
1/3 - was, wie gesagt, ziemlich falsch wäre. |
© H. Föll (MaWi 2 Skript)