6.2 Röntgentopographie

	Obwohl es für Röntgenstrahlen keine Linsen, und damit keine abbildenden Optiken gibt, kann man Defekt abbildend darstellen
		Ausgenutzt wird die Beugung der x-rays am Kristall (nicht, wie in der Medizin, die Absorption an verschieden dichten Teilbereichen).
	Grundprinzip (gilt auch für e- - Strahlen im TEM)
		DieProbe wird bezüglich des einfallendem Strahl so orientiert, daß die Bragg-Bedingung (k - k´=g) für nur eine Netzebenenschar erfüllt, oder fast erfüllt ist. (Zweistrahlfall).
		Alle Defekte die lokal das Gitter "verbiegen" änderen auch lokal die Erfüllung der Bragg-Bedingung; die Intensität des gebeugten Strahls ändert sich in der Nähe des Defekts.
			Im gezeigten Beispiel ist die Bragg-Bedingung im perfekten Bereich des Kristalls fast, aber nicht ganz erfüllt. Es wird damit kaum Beugung stattfinden, der einfallende Strahl verläßt im wesentlichen ungeschwächt die Probe. Links von der gezeichneten Versetzung sind die Netzebenen jedoch lokal besser in die Bragg-Lage gedreht, dort wird der einfallende Strahl stark gebeugt und seine Intensität entsprechend geschwächt. Die Intensität des gebeugten Strahls ist entsprechend gegenläufig.
		Zur Abbildung der Defekte in typischerweise Silizium-Scheiben (unbehandelt oder mit Strukturen von IC´s) hat man folgende Prinzipanordnung eines Röntgentopographie - Gerätes:
	Die Röntgen-Topographie hat charakteristische Vor- und Nachteile:
		Vorteile Nachteile Gesamtsicht eines Wafers mit guter Auflösung Defektanalyse (siehe TEM) in Grenzen möglich Sehr teuer lange Meßzeit (hr) Auflösung begrenzt
	Abbildungen mit Beispielen zur Röntgentopographie
		Röntgentopographie: 1.Beispiel