Entstehung von Versetzungsringen durch Aggolmeration von Zwischengitteratomen in Si und nachfolgende Versetzungsreaktionen

Nachfolgend Bilder von Versetzungsringen in Si, die durch Agglomeration von Zwischengitteratomen entstanden sind
Hier ist im einfachsten Fall (obere Reihe) ein kleiner Versetzungsring mit einem eingeschlossenen Stapelfehler (flächenhafter Kontrast) entstanden. Stapelfehler können aber auch noch in komplexeren Gebilden vorhanden sein (untere Reihe).
Hier sind Versetzungsringe ohne Stapelfehler zu sehen, wie sie nach Durchgang einer Shockley Versetzung enstehen. Die Enden beginnen damit, sich auf schrägliegenden Gleitebenen wegzubewegen.
Als Endprodukte können komplexe Versetzungsanordnungen entstehen. Dabei wirkt auch mit, daß ein schon bestehender Ring auch als Keimbildner für Ausscheidungen dient (hier vermutliche SiO2), die ihrereseits wiederum den Keim für neue Zwischengitteratomringe bilden es entstehen ganze Cluster von Ringen!

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