Swirl-Defekte
Swirl-Defekte wurden Mitte der 70er Jahre entdeckt; es gibt
sie in zwei Varianten, den sog. A- und B- Swirl Defekten Folgendes Bild zeigt
eine Schräglichtaufnahme eines Si-Wafers, der mit einer Defektätze
behandelt wurde. Zu sehen sind die relativ großen Ätzgruben der
A-Defekte als weiße "Punkte". Die typische spiralige Anordnung
führte auf den Namen "Swirls"=Wirbel, Strudel. Näheres dazu
unter "Swirl".
Die Ausschnittsvergrößerung (ca. 1000x) unten aus einem der
Spiralbänder zeigt viele kleine weiße Punkte die von den kleine und
flachen Ätzgrübchen der B-Swirls stammen und einige wenige
kräftige schwarz-weiß Kontraste der großen und tiefen
Ätzgruben der A-Swirls. |
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Defekte in Kristallen: 1.3.3 Zoologie am Beispiel Silizium