Bild 3a

Schemazeichnung einer Speicherzelle des 64 Mbit Speichers von Siemens. Der mit "Trench" gekennzeichnete Bereich entspricht den langen vetikalen Strukturen in der elektronemikroskopischen Aufnahme; die Zeichnung müßte ca. 8 mal höher sein, um den gesamten Trench wiederzugeben. Aus den Materialbezeichnungen wird klar, daß hier ein materialwissenschaftliches Produkt vorliegt.
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