 |
| Die beiden Übersichtsbilder der Vorder- und Hinterseite des Wafers oben links zeigen leider nicht viel Detail in der Wiedergabe; mit dem bloßen Auge sind Strukturen jedoch bei schräger Beleuchtung deutlich zu sehen. Im Mikroskop sieht man jedoch insbesondere auf der Rückseite klare Ätzmuster. Nähere Erläuterungen bei den Vergrößerungen. |
Defekte in Kristallen, 6.1.1 Ätzverfahren