Defektätzung an Transistoren während verschiedener Phasen der Herstellung

 
a) große Stapelfehler nur außerhalb der Transistoren
b) große Stapelfehler innerhalb und außerhalb der Transistoren sowie einige Versetzungen
c) kleine Stapelfehler nur im Basisbereich der Transistoren.
30 sec Ätzzeit mit Secco - Ätze 

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